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真空系統(tǒng)中的流量計（更準確稱為?氣體流量計?或?質量流量計?）是用來測量?在低壓（真空）條件下流過管道的氣體質量流量?的儀器。這與測量體積流量的正壓流量計不同，真空應用的流量測量更具挑戰(zhàn)性。
熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器 RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG 用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
